Southland Sensing cung cấp các thiết bị phân tích và cảm biến oxy phục vụ quy trình sản xuất khí siêu tinh khiết cấp độ bán dẫn, pha trộn khí chuyên dụng, nạp khí vào bình, cung cấp khí số lượng lớn và các hệ thống phân phối khí độ tinh khiết cao. Khả năng đo lường chính xác hàm lượng oxy ở mức vết và dưới ngưỡng ppm giúp các nhà sản xuất xác thực chứng nhận sản phẩm, phát hiện tạp chất, duy trì tính toàn vẹn của quy trình và đáp ứng các tiêu chuẩn khắt khe về độ tinh khiết của khí.
Việc sản xuất khí có độ tinh khiết cực cao (UHP) và khí chuyên dụng là một trong những quy trình đòi hỏi khắt khe nhất về chất lượng trong nền công nghiệp hiện đại. Các lĩnh vực như sản xuất chất bán dẫn, dược phẩm, hàng không vũ trụ, phòng thí nghiệm phân tích và sản xuất tiên tiến đều phụ thuộc vào các loại khí có hàm lượng tạp chất oxy cực thấp. Dù là sản xuất nitơ, argon, heli, hydro có độ tinh khiết cao, khí chuẩn hay các hỗn hợp khí chuyên dụng theo yêu cầu, thì ngay cả một lượng oxy rất nhỏ cũng có thể làm giảm độ tinh khiết của khí, gây nhiễm bẩn hỗn hợp và dẫn đến việc sản phẩm không đạt tiêu chuẩn, gây tốn kém chi phí.
Máy phân tích oxy đóng vai trò thiết yếu trong toàn bộ quy trình sản xuất khí siêu cao áp bằng cách liên tục kiểm tra độ tinh khiết của khí và phát hiện ô nhiễm trước khi chất lượng sản phẩm bị ảnh hưởng. Trong quá trình tinh chế khí, phép đo oxy xác nhận hiệu suất của máy tinh chế và cung cấp dấu hiệu sớm về sự xâm nhập. Trong các hệ thống pha trộn khí chuyên dụng, phân tích oxy vết xác minh tính toàn vẹn của hỗn hợp và giúp đảm bảo các thông số kỹ thuật của khách hàng luôn được đáp ứng. Trong quá trình nạp khí vào bình, việc giám sát oxy liên tục xác nhận hiệu quả của quá trình làm sạch và bảo vệ chống lại sự ô nhiễm, trong khi việc giám sát trong suốt quá trình lưu trữ số lượng lớn, phân phối qua đường ống và giao hàng đến điểm sử dụng giúp xác nhận độ tinh khiết của khí từ khâu sản xuất đến khách hàng cuối cùng.
Bên cạnh việc đảm bảo chất lượng sản phẩm, hệ thống giám sát nồng độ oxy còn giúp tăng cường độ an toàn cho cơ sở. Việc sử dụng lượng lớn khí nitơ và các loại khí trơ khác trong quá trình sản xuất khí siêu tinh khiết (UHP) có thể tạo ra môi trường thiếu hụt oxy nếu xảy ra rò rỉ. Các hệ thống giám sát oxy cố định cung cấp khả năng theo dõi khu vực liên tục và đưa ra cảnh báo sớm, giúp bảo vệ nhân sự khỏi những nguy cơ do thiếu hụt oxy gây ra.
Tài liệu ứng dụng này xem xét các điểm giám sát oxy trọng yếu trong quy trình sản xuất khí siêu tinh khiết và khí chuyên dụng; đồng thời giải thích vị trí lắp đặt các thiết bị phân tích oxy, lý do tại sao việc đo nồng độ oxy lại thiết yếu ở từng giai đoạn của quy trình, cũng như xác định các thiết bị phân tích và cảm biến oxy điện hóa của Southland Sensing phù hợp nhất cho từng ứng dụng cụ thể.
Tại sao việc giám sát nồng độ oxy lại quan trọng trong quá trình sản xuất khí chuyên dụng và khí siêu tinh khiết (UHP): Việc nhiễm oxy không được kiểm soát ở bất kỳ giai đoạn nào của quá trình pha trộn khí chuyên dụng hoặc sản xuất khí siêu tinh khiết (UHP) đều có thể làm ảnh hưởng đến chứng nhận sản phẩm, thay đổi thành phần hỗn hợp, gây suy giảm chất lượng sớm đối với các loại khí nhạy cảm và làm mất hiệu lực của các tiêu chuẩn sản xuất nghiêm ngặt vốn được xây dựng qua nhiều năm tối ưu hóa. Việc đo lường nồng độ oxy liên tục và chính xác tại các điểm trọng yếu của quy trình cung cấp dữ liệu thời gian thực cần thiết để duy trì độ tinh khiết của khí trong quy trình, đảm bảo tính toàn vẹn của sản phẩm, phát hiện sớm các sự cố vận hành trước khi chúng dẫn đến các lô sản phẩm không đạt chuẩn, cũng như bảo vệ nhân sự khỏi các nguy cơ thiếu hụt oxy trong môi trường sản xuất khí quy mô lớn.
OMD-675 là thiết bị phân tích chủ lực của Southland Sensing, chuyên dùng để giám sát oxy liên tục trong các quy trình sản xuất khí siêu tinh khiết (UHP), pha trộn khí đặc biệt, hệ thống tinh chế và đường cấp khí cho ngành bán dẫn. Với khả năng đo nồng độ oxy ở mức dưới 1 ppm, thiết bị này kết hợp độ ổn định vượt trội cùng các giao thức truyền thông 4–20 mA và Modbus RTU, cho phép tích hợp liền mạch vào các hệ thống PLC, DCS và SCADA, qua đó giúp xác thực độ tinh khiết của khí trước khi cấp chứng nhận và bàn giao.
Máy phân tích oxy cầm tay OMD-640 là thiết bị thiết yếu phục vụ công tác nghiệm thu hệ thống khí, khảo sát phát hiện rò rỉ, kiểm tra định kỳ tủ khí và tính toàn vẹn của hệ thống phân phối, cũng như hỗ trợ bảo trì và khắc phục sự cố trên nhiều dây chuyền sản xuất. Với khả năng đo nồng độ oxy ở mức dưới 1 ppm, thiết bị cho phép thực hiện các phép kiểm tra nhanh chóng và đáng tin cậy nhằm xác nhận độ tinh khiết của khí trong quá trình lắp đặt, khởi động, bảo trì định kỳ và các ứng dụng khí chuyên dụng.
Trong quá trình sản xuất và phân phối các loại khí có độ tinh khiết cực cao (UHP), tính toàn vẹn của dòng khí là một chỉ số chất lượng then chốt, quyết định việc cấp chứng nhận cuối cùng và khả năng đáp ứng các tiêu chuẩn về hiệu suất. Dù là sản xuất Nitơ, Argon, Heli hay Hydro, sự hiện diện dù chỉ ở mức vết của oxy cũng có thể làm ảnh hưởng đến các thông số kỹ thuật của khí UHP. Việc đo lường nồng độ oxy một cách liên tục và chính xác tại các đường ống dẫn chính và mạng lưới phân phối là điều cần thiết để xác nhận rằng độ tinh khiết của khí được duy trì ổn định từ nguồn sản xuất đến điểm sử dụng. Các thiết bị phân tích oxy mức vết của chúng tôi mang lại độ nhạy ở cấp độ sub-ppm và ppb cần thiết để phát hiện các sự cố nhiễm bẩn dù là nhỏ nhất, qua đó đảm bảo mọi loại khí được phân phối luôn đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt của ngành về độ tinh khiết.
Quá trình pha trộn khí chuyên dụng đòi hỏi sự kiểm soát chính xác thành phần của các hỗn hợp đa thành phần, trong đó hàm lượng oxy cần được quản lý nghiêm ngặt để ngăn ngừa các phản ứng không mong muốn hoặc sự suy giảm chất lượng sản phẩm. Độ chính xác của hỗn hợp cuối cùng phụ thuộc vào việc duy trì mức nền oxy cực thấp trong suốt quá trình pha trộn và nạp khí vào bình. Việc giám sát trực tuyến liên tục tại hệ thống đường ống phân phối (manifold) và trạm nạp khí cho phép xác nhận theo thời gian thực về độ toàn vẹn của môi trường khí trơ. Nhờ đó, người vận hành có thể phát hiện ngay lập tức tình trạng xâm nhập của không khí hoặc rò rỉ hệ thống, qua đó ngăn ngừa các lô sản phẩm không đạt chuẩn và đảm bảo chất lượng cũng như tính ổn định của sản phẩm khí chuyên dụng.
Trong quá trình nạp khí vào bình và vận hành thử hệ thống khí, việc xác nhận loại bỏ hoàn toàn oxy là bước bắt buộc để đảm bảo an toàn và chất lượng. Sự hiện diện của oxy trong hệ thống chứa khí có độ tinh khiết cao hoặc khí phản ứng có thể gây nhiễm tạp chất và tạo ra các nguy cơ mất an toàn. Việc giám sát nồng độ oxy tại điểm sử dụng trong suốt quá trình xả khí và nạp khí cho phép phát hiện sớm nhất tình trạng suy giảm độ tinh khiết của khí. Nhờ đó, người vận hành có thể xác nhận hệ thống đã được hút chân không và xả khí đúng quy trình trước khi thực hiện nạp sản phẩm cuối cùng, đảm bảo mọi bình khí đều đạt tiêu chuẩn về độ tinh khiết và an toàn trước khi xuất xưởng.
Vui lòng tham khảo Hướng dẫn về độ tương thích của cảm biến O₂ để xác nhận loại cảm biến phù hợp cho mẫu máy phân tích và ứng dụng quy trình của bạn.
Các kỹ sư ứng dụng của chúng tôi hỗ trợ việc lựa chọn và lắp đặt cảm biến, cũng như giải đáp các thắc mắc liên quan đến khu vực nguy hiểm.
Các kỹ sư ứng dụng của chúng tôi luôn sẵn sàng hỗ trợ bạn trong việc lựa chọn cảm biến, hướng dẫn lắp đặt cũng như giải đáp mọi thắc mắc khác.
English English 
German
Chinese
Spanish
Japanese
Russian
Portuguese
French
Vietnamese
Korean
Turkish
Italian
Arabic
Ukrainian
