Southland Sensing oksijen analizörleri ve elektrokimyasal oksijen sensörleri; proses gazı saflığını doğrulayarak, oksijene duyarlı süreçleri koruyarak ve wafer üretimi, epitaksiyel büyüme, difüzyon fırınları, yarı iletken paketleme ve elektronik üretim aşamaları boyunca inert atmosferi muhafaza ederek ultra yüksek saflıkta (UHP) yarı iletken üretimini destekler. Milyarda bir (ppb) seviyesinde oksijen analizinden sürekli proses izlemeye kadar uzanan çözümlerimiz; cihaz verimini en üst düzeye çıkarmaya, ürün güvenilirliğini artırmaya ve maliyetli kontaminasyonu azaltmaya yardımcı olur.
Yarı iletken ve elektronik üretiminde, diğer sektörlere kıyasla en yüksek seviyede proses gazı saflığı gereklidir. Yonga levha üretiminden ve epitaksiyel büyümeden gelişmiş paketlemeye ve baskılı devre kartı montajına kadar, eser miktardaki oksijen kirliliği bile verimi düşürebilir, cihaz performansını tehlikeye atabilir ve uzun vadeli ürün güvenilirliğini etkileyebilir. Yarı iletken üretiminde daha küçük cihaz geometrilerine ve daha gelişmiş proses teknolojilerine doğru ilerleme devam ettikçe, oksijen ölçümü milyonda bir (ppm) seviyesinden milyarda bir (ppb) seviyesinde ultra yüksek saflıkta (UHP) ölçüme doğru evrilmiştir.
Southland Sensing, yarı iletken üretiminde kullanılan ultra yüksek saflıktaki (UHP) proses gazlarına yönelik ultra eser düzeyde oksijen analizi konusunda uzmanlaşmıştır. Elektrokimyasal oksijen analizörlerimiz; gaz saflığını doğrulamak, oksijen sızıntılarını tespit etmek ve kritik üretim süreçleri için gereken inert atmosferleri korumak amacıyla sürekli olarak milyarda bir (ppb) seviyesinde oksijen ölçümü sağlar. İster yüksek saflıkta azot, argon, hidrojen veya özel proses gazları izleniyor olsun; sürekli oksijen analizi, hassas malzemelerin korunmasına, kontaminasyonun azaltılmasına ve üretim veriminin en üst düzeye çıkarılmasına yardımcı olur.
Yarı iletken üretim sürecinin tamamında, oksijen izleme hem ürünlerin hem de ekipmanların korunmasında kritik bir rol oynar. Difüzyon fırınları, epitaksiyel büyüme sistemleri, CVD ve MOCVD reaktörleri, wafer işleme ortamları, yarı iletken eldiven kutuları ve ultra yüksek basınçlı gaz dağıtım sistemleri gibi yerlerde, eser miktarda oksijen kontaminasyonunun bile proses stabilitesini etkileyebileceği için ultra düşük oksijen konsantrasyonları gereklidir. Elektronik montajı sırasında, düşük oksijenli reflow lehimleme oksidasyonu en aza indirir ve lehim bağlantı kalitesini iyileştirir; temiz oda ve gaz depolama alanlarında ise oksijen izleme, personeli büyük hacimli inert proses gazlarının oluşturduğu oksijen yetersizliğinden korumaya yardımcı olur.
Bu uygulama kılavuzu, yarı iletken ve elektronik üretim süreçlerindeki kritik oksijen ölçüm noktalarını incelemekte, milyarda bir (ppb) düzeyinde oksijen izlemenin gerekli olduğu alanları açıklamakta ve her bir uygulama için en uygun Southland Sensing analizörleri ile elektrokimyasal oksijen sensörlerini önermektedir.
Yarı iletken ve elektronik üretiminde oksijen izleme neden önemlidir: Milyarda bir (ppb) düzeyindeki oksijen kirliliği bile yarı iletken verimini düşürebilir, hassas bir şekilde kontrol edilen proses reçetelerini bozabilir ve ürün güvenilirliğini tehlikeye atabilir. Sürekli oksijen izleme; ultra yüksek saflıktaki proses gazı kalitesinin doğrulanmasına, inert atmosfer bütünlüğünün teyit edilmesine, hurda oluşumuna yol açmadan önce oksijen sızıntısının tespit edilmesine ve azot, argon, hidrojen ile özel gaz ortamlarında personelin oksijen yetersizliğinden kaynaklanan tehlikelerden korunmasına yardımcı olur.
Yarı iletken proses gazı dağıtım sistemleri, difüzyon fırınları, biriktirme reaktörleri ve oksijene duyarlı diğer üretim süreçlerinde sürekli ultra yüksek saflıkta (UHP) oksijen izleme amacıyla tasarlanmıştır. OMD-675; kullanım noktasında yarı iletken sınıfı azot, argon, hidrojen ve özel proses gazlarının saflığını doğrulamak için gereken hassasiyeti sunarak, milyarda bir (ppb) ve ultra düşük ppm seviyelerinde sürekli oksijen ölçümü sağlar. 4–20 mA çıkışlar, Modbus RTU haberleşmesi ve tesis genelindeki SCADA, DCS ve proses kontrol sistemlerine sorunsuz entegrasyon gibi kapsamlı özelliklerle donatılmıştır.
Southland Sensing, dünya genelinde kurulu eldiven kutuları (glovebox) ve inert atmosfer sistemleri için yüksek kaliteli, elektrokimyasal yedek oksijen sensörleri üretmektedir. İster mevcut Southland analiz cihazlarının bakımı yapılsın isterse yaygın olarak kullanılan üçüncü taraf oksijen monitörlerindeki sensörler değiştirilsin; sensörlerimiz hassas oksijen ölçümü imkanını yeniden sağlar, duruş sürelerini azaltır ve kritik izleme ekipmanlarının kullanım ömrünü uzatır.
✓ Elektrokimyasal Sensörler · OEM ve Rakip Ürün Muadilleri
OMD-507; eldivenli kabinlere ve OEM inert atmosfer ekipmanlarına sorunsuz bir şekilde entegre edilmek üzere tasarlanmış, kompakt bir oksijen analizörüdür. Küçük boyutları, esnek montaj seçenekleri ve güvenilir elektrokimyasal oksijen sensörü teknolojisi; değerli kabin veya panel alanından ödün vermeden güvenilir oksijen izleme imkanına ihtiyaç duyan eldivenli kabin üreticileri için bu cihazı mükemmel bir seçenek haline getirmektedir.
✓ Hat Üzeri Akışlı · Kullanım Noktası İzleme
OMD-640, yarı iletken proses gazı sistemleri için milyarda bir (ppb) ve ultra düşük ppm seviyelerinde taşınabilir oksijen ölçümü sağlayarak; ultra yüksek saflıktaki (UHP) azot, argon, hidrojen ve özel gaz kaynaklarının hızlı bir şekilde doğrulanmasına olanak tanır. Bu cihaz; proses gazı sistemlerinin devreye alınması, gaz kabini yeterlilik testleri, sızıntı tespiti, önleyici bakım ve çeşitli proses ekipmanlarında arıza giderme işlemleri için idealdir.
✓ Taşınabilir Milyarda Bir (ppb) Seviyesinde Oksijen Analizi · UHP Proses Gazı Doğrulama
Silisyum difüzyonu ve termal oksidasyon süreçlerinde, fırın atmosferindeki oksijen konsantrasyonu; oksit büyüme hızını ve kalitesini, katkı maddesi difüzyon profillerini ve Si/SiO₂ sınırındaki arayüzey durum yoğunluğunu doğrudan kontrol eden temel bir süreç parametresidir. Hem (hassas bir O₂ konsantrasyonunun korunmasını gerektiren) bilinçli oksidasyon süreçleri hem de (istenmeyen oksidasyonu önlemek amacıyla oksijenin ortamdan uzak tutulması gereken) inert tavlama süreçleri, fırın gaz beslemesindeki oksijenin doğru ve sürekli bir şekilde ölçülmesine dayanır.
Ultra eser düzeydeki oksijen analizörlerimiz; fırın atmosfer koşullarını gerçek zamanlı izlemek, gaz geçişi olaylarını tespit etmek ve her bir ısıl işlem süreci öncesinde ve sırasında proses gazı saflığının teknik gereklilikleri karşıladığını doğrulamak için gereken ppm-altı hassasiyeti ve hızlı tepki süresini sağlar.
Azot örtülü reflow lehimleme, elektronik montajında bakır ve lehim pedlerinin oksidasyonunu önlemek, lehimin ıslanmasını iyileştirmek, lehim bağlantılarındaki boşluk oluşumunu azaltmak ve lehim macununun çalışma ömrünü uzatmak için yaygın olarak kullanılır. Azot örtüsünün etkinliği, reflow bölgesindeki oksijen seviyelerinin, kullanılan lehim alaşımı ve akı kimyası için belirtilen eşik değerin altında tutulmasına doğrudan bağlıdır; bu değer, standart kurşunsuz lehimleme için tipik olarak 100-1000 ppm O₂ ve gelişmiş ince aralıklı ve yüksek güvenilirlik uygulamaları için 50-100 ppm'nin altındadır.
Reflow fırınının giriş, tepe sıcaklık (peak) ve çıkış bölgelerinde sürekli çevrimiçi oksijen izleme işlemi; reflow profili boyunca azot örtüsü bütünlüğünün korunduğuna dair gerçek zamanlı doğrulama sağlar ve azot beslemesinin kesilmesi, kapı sızdırmazlık elemanlarının bozulması ya da konveyör hızındaki değişiklikler nedeniyle oksijen seviyelerinin ayarlanan değerin üzerine çıkması durumunda operatörleri derhal uyarır.
Bileşik yarı iletken malzemelere (GaAs, InP, GaN, InGaAs ve diğerleri) yönelik kimyasal buhar biriktirme (CVD) ve metal-organik CVD (MOCVD) süreçleri, oksijen ve nem kirliliği seviyeleri tipik olarak milyarda bir (ppb) aralığında olan, son derece yüksek saflıkta işlem gazı beslemeleri gerektirir. Taşıyıcı gazda (genellikle H₂ veya N₂) ya da reaktan akışlarında bulunan eser miktardaki oksijen kirliliği bile epitaksiyel katmanda kusur durumlarına yol açabilir, taşıyıcı hareketliliğini düşürebilir, arka plan safsızlık konsantrasyonlarını artırabilir ve aygıt performansını azaltabilir.
Gaz paneli girişinde, yani reaktörün hemen öncesinde gerçekleştirilen kullanım noktası oksijen izleme işlemi, gaz saflığındaki bozulmanın mümkün olan en erken aşamada tespit edilmesini sağlar ve kirli gazın büyüme odasına ve wafer'a ulaşmasından önce sürecin durdurulmasına olanak tanır.
Numune sistemi tasarımı; proses gazı akışlarının değişken basınçlara sahip olduğu, reaktif bileşenler içerebildiği ve numune sisteminin kendisinin dahi oksijen kirliliğine yol açmaması gereken yarı iletken ve elektronik uygulamalarında bilhassa kritik öneme sahiptir. Borular, bağlantı parçaları, vanalar ve akış kontrolörleri gibi numune sisteminin akışkanla temas eden tüm bileşenleri, ultra yüksek saflıkta (UHP) yarı iletken uygulamalarına uygun nitelikte seçilmelidir; gaz salınımını ve sızıntı riskini en aza indirmek amacıyla genellikle VCR veya Swagelok sıkıştırmalı bağlantı parçalarına sahip, elektro-polisaj işleminden geçmiş 316L paslanmaz çelik tercih edilir.
Yüksek basınçlı proses gazı besleme hatlarında kullanım noktası izleme işlemleri için, analizörün giriş tarafında uygun bir basınç düşürme sistemi bulunmalıdır. Doğru ve tekrarlanabilir ölçümlerin sağlanabilmesi amacıyla, analizörden geçen akış hızları belirtilen aralıkta tutulmalıdır.
Southland Sensing; yarı iletken ve elektronik üretim uygulamalarına yönelik numune sistemi tasarımı, malzeme seçimi ve kurulum rehberliği konularında uygulama mühendisliği desteği sunmaktadır. Proses gazı bileşimi, basınç, akış koşulları ve saflık spesifikasyonu gereksinimlerinizi görüşmek üzere fabrika ile iletişime geçin.
...mıza başvurun O₂ Sensörü Uyumluluk Kılavuzu Analizör modeliniz ve proses uygulamanız için doğru sensörü teyit etmek.
Uygulama mühendislerimiz; sensör seçimi, kurulum ve tehlikeli bölgelerle ilgili konularda destek sağlamaktadır.
Uygulama mühendislerimiz; sensör seçimi, kurulum rehberliği ve aklınıza takılabilecek diğer konularda size yardımcı olmaya hazırdır.
English English 
German
Chinese
Spanish
Japanese
Russian
Portuguese
French
Vietnamese
Korean
Turkish
Italian
Arabic
Ukrainian
