半導体とは、導体と絶縁体の中間の電気伝導性を持つ物質で、最も一般的なのはシリコンである。マイクロプロセッサーが小型化し、品質基準が高まるにつれて、半導体製造技術はより精密になり、より高度なツールが要求されるようになった。 チップにエッチングされるパターンは非常に複雑で高密度であり、チップには1平方センチメートルあたり約4kmのパターンがエッチングされることもある。.
10億分の1レベルの酸素でさえ、関係する化学物質との好ましくない反応により、歩留まりの低下を引き起こす可能性がある。.
ガスレベルの公差が非常に低いため、極めて高感度なガス分析計技術を使用する必要があります。当社の精密電気化学センサーは、0.001ppm（1ppb）の分解能で、0～1PPMの範囲の酸素を測定することができます。その OMD-675 そして OMD-677 は、このレベルの精度を19インチラックまたはパネルマウント構成で提供し、ガスの継続的なモニタリングを可能にします。 OMD-640 は、ガスの純度をスポットチェックするためのポータブル・パッケージに同じ技術を利用している。.